影像測(cè)量?jī)x是一種利用光學(xué)顯微鏡對(duì)待測(cè)物體進(jìn)行放大成像，再由CCD攝像系統(tǒng)將放大后的被測(cè)物體影像傳送給與儀器相連接的計(jì)算機(jī)，然后用以非接觸、高效檢測(cè)到各種復(fù)雜工件幾何量的設(shè)備。
 
在實(shí)際測(cè)量過程中，影像測(cè)量?jī)x測(cè)量的工件不都是光滑的，也有一些比較粗糙的工件會(huì)被需要用來測(cè)量，一般來說光滑的工件成像會(huì)比較清晰，因此也會(huì)比較好得出精確的測(cè)量結(jié)果，而粗糙的工件則有所不同，成像可能會(huì)不清晰，也會(huì)從各種方面影響到測(cè)量的結(jié)果，因此在測(cè)量粗糙時(shí)影像測(cè)量?jī)x需要采取相應(yīng)的方法來進(jìn)行，才可以得到準(zhǔn)確的結(jié)果。
 
一般來說影像測(cè)量?jī)x在測(cè)量粗糙工件時(shí)可以采用以下三種方法，分別是印模法、干涉法和光切法三種。印模法是指工件在測(cè)量之前使用石蠟或者一些低熔點(diǎn)的合金等印模材料，將其印在被測(cè)量的工件的表面，然后再將其放置到影像測(cè)量?jī)x的顯微鏡下進(jìn)行測(cè)量，這種方法雖然可以很好的測(cè)量出結(jié)果，但是也有一定的局限性，主要適用于大型或者重量較大的工件。
 
干涉法是指利用影像測(cè)量?jī)x的光波干涉原理，然后使用干涉顯微鏡進(jìn)行具體的尺寸測(cè)量。光切法也是同樣利用影像測(cè)量?jī)x的光切原理進(jìn)行的，最后使用設(shè)備的雙管顯微鏡進(jìn)行相關(guān)的測(cè)量。